Серия установок для термического атомно-слоевого осаждения слоев (tALD) на пластины диаметром до 300 мм PSAT-300

PSAT-300 — серия высокопроизводительных систем кластерного типа для классического термического атомно-слоевого осаждения различных плёнок (металлы, оксиды и нитриды металлов, High-k диэлектрики). В зависимости от применения возможен как вертикальной тип подачи прекурсоров (Showerhead), так и проточный тип реактора (Cross-Flow). Конфигурация рабочего модуля предполагает сдвоенную камеру (архитектура Twin-Chamber), а транспортный модуль позволяет подключать до четырех процессных модулей, что обеспечивает высокую пропускную способность за счет параллельной обработки до восьми пластин.

Особенности

• Для серийного производства на пластинах диаметром 300 мм
• Обработка пластин Ø 150÷200 мм: может быть реализована с помощью сменных комплектов оснастки рабочих модулей или использования специальных держателей. Также возможна реализация камер с индивидуальной обработкой по одной пластине
• Различные типы реакторов: Showerhead или Cross-Flow
• Архитектура Twin-Chamber для одновременной обработки двух пластин
• Отсутствие мертвых зон и равномерное распределение потоков
• Пятигранная платформа транспортного модуля
• Возможность сочетания модулей tALD и PEALD на одной транспортной платформе
• Программное обеспечение собственной разработки