Система проекционной литографии Canon FPA-3030eX6

Canon FPA-3030EX6 — степпер глубокого ультрафиолета (DUV), использующий KrF эксимерный лазер с длиной волны 248 нм. Установка проецирует изображение с фотошаблона на подложки диаметром до 200 мм с 5-кратным уменьшением, формируя структуры с разрешением до 150 нм. Предназначена для экономичного массового производства устройств для Интернета вещей (IoT), силовой электроники, аналоговых микросхем и датчиков, поддерживая работу с широким спектром специальных подложек.

В условиях роста рынков IoT и силовой электроники производителям требуются гибкие и надежные литографические решения. FPA-3030EX6 от Canon — это проверенная платформа, созданная именно для этой цели. Она наследует надежность и функциональность предшественника FPA-3000EX6, обеспечивая при этом высочайший в своем классе уровень производительности: разрешение до 150 нм, точность совмещения слоев (оверлей) ≤25 нм и пропускную способность свыше 120 пластин в час (для 200 мм). Ключевое преимущество — универсальность: установка совместима с подложками различных материалов (кремний, сапфир, карбид кремния, стекло), размеров (100, 125, 150, 200 мм) и толщин.

Особенности

• Разрешение: 150 нм
• Точность наложения слоев: 25 нм
• Источник излучения: KrF 248 нм
• Работа с пластинами от 100 — 200 мм
• Изменяемая апертура: 0,5 — 0,65
• Производительность: >120 пластин/час (200 мм)