GPD20 — система для высокоточной двухсторонней шлифовки и полировки пластин и прочих изделий из кварца, сапфира, карбида кремния и других полупроводников, керамики, металлов и других твёрдых и хрупких материалов.
Особенности
Точное регулирование давления с помощью ПЛК, пневматического преобразователя (PT), пропорционального клапана и цилиндра с низким коэффициентом трения
Демпфирующее устройство для поглощения шоковых нагрузок и вибраций
Гидростатический подшипник нижнего диска
Устройство фиксации верхнего диска в верхнем положении
Низкая нагрузка на сепараторы
Возможность программируемого задания скоростей вращения (в т. ч. в виде функций) как коронной и солнечной шестерён, так и верхнего и нижнего дисков
Водяное охлаждение обоих дисков
Поддержка обработки крупных и ультратонких пластин и заготовок
Поддержка шлифовки/полировки при больших и сверхмалых давлениях
Номер модели
GPD20-K4/5
GPD20-P4/5
Размеры верхнего и нижнего дисков (*с водяным охлаждением)