Установка односторонней шлифовки-полировки mSiSP2

mSiSP2 — серия установок для односторонней полировки пластин до Ø150 мм. Установки оснащены системой охлаждения и контроля температуры обрабатывающего диска, что обеспечивает её постоянное поддержание во время процесса. Благодаря простому в эксплуатации управлению и конфигурациям различных типов обрабатывающих дисков и суспензий оборудование используется для шлифовки и полировки пластин и изделий из полупроводниковых материалов, меди, олова, стекла и нержавеющей стали.

Особенности

• Вращательное и поступательное движение головы-держателя
• Возможность юстировки головы-держателя
• Работа с пластинами до Ø150 мм
• Вакуумное удержание пластин
• Прижим головы за счёт собственного веса
• Система контроля температуры диска
• Перистальтический или струйный вакуумный насос для подачи суспензии