Вертикальная трубная печь VTFX-2-ATM

VTFX-2-ATM — вертикальная трубная печь, оснащенная роботом для загрузки пластин из кассет. Позволяет проводить широкий круг термических процессов при атмосферном давлении. Обладает повышенной производительностью и малой занимаемой площадью. Разработана для крупносерийного производства.

Особенности

• Атмосферные процессы: диффузия, сухое и мокрое оксидирование, отжиг
• Полностью автоматическая работа с загрузкой пластин из кассет
• Один реактор из кварца
• Рабочая температура до 1200 °С
• Неоднородность температуры в рабочей зоне реактора в пределах ±0,5 °С
• Нагреватель с пятью зонами контроля температуры
• Загрузка до 150 пластин в реактор

Характеристики процессов

• Неравномерность толщины SiO2 (сухое оксидирование): ≤2 %
• Неравномерность толщины SiO2 (оксидирование в парах воды): ≤2 %
• Неравномерность толщины SiO2 (пирогенное оксидирование): ≤2 %
• Неравномерность поверхностного сопротивления (диффузия фосфора): ≤4 %
• Неравномерность поверхностного сопротивления (диффузия бора): ≤4 %