BBJ-A — полностью автоматическая система для молекулярного/гибридного бондинга. Включает блок отмывки, блок активации поверхности пластин, систему совмещения, блок временного бондинга, центрирующее устройство, блок термического дебондинга пластин сдвигом и т.д. Подходит для процессов молекулярного/гибридного бондинга Ø200/Ø300 мм пластин.
Особенности
Модульная конструкция
Точность перемещения столика <2 нм
Внутренняя среда класса ISO 1
Размер пластин Ø8/Ø12 дюймов
Высокоточный механизм совмещения, точность совмещения 50 нм (3σ)
Запросить в один клик
Заказать звонок
Запрос оборудования на тестирование
?>
Сайт использует файлы cookie, обрабатываемые вашим браузером. Подробнее об этом вы можете узнать в Политике cookie.