Заказать звонок +7 495 788-44-44
Меню
ПОИСК ПО САЙТУ
Каталог товаров Полупроводниковое производство Сборочное производство
АОИ, тестирование и контроль Инженерные решения для ЧПП
Расходные материалы
О компании Демозал Карьера Политика конфиденциальности Сертификаты Пресс-центр Каталог оборудования Решения «под ключ» МЭМС ГИС Биочипы Фотоника Радиоэлектроника Силовая электроника СВЧ
Услуги и сервис Сервис и модернизация Запасные части Технология Обучение персонала База знаний Вебинары Статьи Каталоги и брошюры Технологии Вопросы и ответы Видео
Личный кабинет Личные данные Ваше оборудование Заявки на сервис Анкеты Задать вопрос Лист запросов Подписка Контакты
+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39
+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39

Автоматическая система сварки пластин EVG 540

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643
Автоматическая система сварки пластин EVG 540 Буферная стойка с четырьмя держателями, под которой располагается внешняя станция охлаждения для быстрого охлаждения после выгрузки из камеры сварки Сварочная камера Установка с четырьмя держателями
Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок
Печать/PDF

Автоматическая система сварки EVG®540 с одной сварочной камерой предназначена для серийного и крупносерийного производства, но также может применяться для научно-исследовательских задач в области сварки пластин и МЭМС-применений.

Модульная конструкция EVG®540 представляет собой проверенное решение для последующего перехода процессов сварки пластин от этапа НТОКР до крупномасштабного производства на полностью интегрированных производственных системах.

Функциональные особенности

  • Контактное усилие до 100 кН при температуре до 650 °С
  • Система сварки с одной камерой для пластин диаметром до 300 мм
  • Программируемый центр приложения силы
  • Уникальная система для компенсации вариаций толщины кристаллов
  • Автоматическое перемещение до четырех держателей для сварки
  • Двухстороннее охлаждение с верхней и нижней стороны
  • Технологический маршрут, полностью совместимый с промышленными сварочными системами от EVG (GEMINI®)
  • Графический интерфейс пользователя, основанный на ОС Windows®

Размер нагревателя

150, 200, 300 мм

Размеры подложки / пластины при нагревателе 150 мм

50 мм

Размеры подложки / пластины при нагревателе 200 мм

100 мм

Размеры подложки / пластины при нагревателе 300 мм

200 мм

Доступные системы совмещения для нагревателя 150 мм

EVG®610, 620, 6200

Доступные системы совмещения для нагревателя 200 мм

EVG®6200, SmartView®, MBA300

Доступные системы совмещения для нагревателя 300 мм

SmartView®, MBA300

Контактное усилие

10, 20, 60 и 100 кН

Максимальная температура

550 °С (стандартная комплектация)

650 °С (опция)

Вакуумная система

0,1 мБар (стандартная комплектация)

10-6 мБар (опция)

Система питания для анодной сварки

0-2000 В, 0-50 мA

Камера загрузки

Робот с перемещением по трем осям

Максимальное число камер сварки

1

Технологический маршрут совместимый с GEMINI®

Типичное применение для клиентов

Научно-исследовательские и опытно-конструкторские разработки

Мелкосерийное производство

Среднесерийное производство

Крупносерийное производство



+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39
© 2020 ООО «Остек-ЭК»