Автоматизированная система сварки пластин для подложек 100 – 200 мм EVG GEMINI®

Система GEMINI^® от EVG представляет собой автоматизированную систему по сварке пластин, разработанную для систем обработки различных подложек, которая использует отработанную технологию от лидера рынка в области сварки пластин.

В эту систему, проверенную на производстве, встроены автоматические станции совмещения и сварки, а также модули предварительной обработки.

Данная система позволяет выполнять все процессы сварки пластин, которые отвечают требованиям производства MEMS, передового корпусирования и 3D-межсоединений.

Функциональные особенности

• SmartView^® — совмещение «лицо-к-лицу»;
  
• Возможность использования совмещения по задней стороне, просвечивающего и ИК- совмещения;
  
• Возможность временной сварки для утонения пластин;
  
• Модульная конструкция с системами загрузки;
  
• Гибкость разрабатываемой конфигурации для технологий совмещения пластина-к-пластине и кристалл-к-пластине;
  
• Сила прижима до 100кН;
  
• Легкая очистка и техническое обслуживание благодаря быстрому доступу к камерам сварки;
  
• 1 класс (в соответствии с US FED STD 209E) миниокружающей среды, благодаря разделенным системам подачи пластин до и после сварки.
  

	В инновационном решении, применяемом в системе GEMINI®, для комплексного процесса совмещения и сварки используется уникальный принцип разделения процессов от EVG, в который включены процессы отдельной обработки подложки до и после сварки для оптимальной пропускной способности и максимальных требований к чистоте.
	Для загрузки, выгрузки и транспортировки совмещенных и сваренных пар пластин используются универсальные держатели, которые позволяют настроить систему для специальных применений
	Для контроля качества сварки используется система ИК-контроля, которая доступна для GEMINI® и GEMINI®FB

Система управляется интерфейсом на основе ОС Windows. Предусмотрены различные степени контроля доступа для различных пользователей (оператор, инженер, администратор). Многопользовательский режим позволяет создавать индивидуальные маршруты. Процессы загрузки, совмещения, сваривания и разгрузки пластин полностью программируются. Контроль процесса передачи данных обеспечивается мониторингом в реальном времени и сбором данных, а также простым редактированием готовых маршрутов. Изображения могут быть сохранены вместе с идентификаторами пластин для последующей справки.