Сухой скруббер – высокоэффективная система очистки газовых потоков, использующая твердые сорбенты или катализаторы для удаления токсичных и вредных компонентов без применения воды или жидких реагентов. Технология особенно востребована в полупроводниковом производстве благодаря своей надежности, компактности и минимальным эксплуатационным требованиям.
Сухие скрубберы являются идеальным решением для полупроводникового производства, где требуется надежная, экономичная и экологически безопасная очистка токсичных газов с минимальными инфраструктурными требованиями и максимальной операционной надежностью. Их особая ценность проявляется при обработке малых концентраций токсичных компонентов и в аварийных системах безопасности.
Принцип работы
Сухой скруббер работает по принципу химической адсорбции или каталитической конверсии токсичных компонентов на поверхности твердого сорбента:
Подача загрязненного газа: технологический газовый поток поступает в систему скруббера после вакуумного насоса. Поток может содержать токсичные газы, коррозионные соединения, перфторуглероды (ПФУ) и другие загрязнители.
Охлаждение (опционально): при необходимости горячий газовый поток охлаждается до оптимальной температуры для обеспечения термической стабильности сорбента и повышения эффективности реакций.
Контакт с сорбентом: газ проходит через слой катализатора или адсорбента, где происходит хемосорбция или адсорбция вредных веществ на поверхность материала. Время контакта очень короткое и не зависит от входной концентрации загрязнений.
Химические реакции: токсичные компоненты либо связываются с поверхностью сорбента, либо вступают в химическую реакцию с образованием менее вредных стабильных соединений. Реакция происходит при комнатной температуре или при умеренном нагреве (для каталитических систем).
Удаление очищенного газа: очищенный газовый поток, содержащий остаточные концентрации загрязнителей ниже 1 ppm, выводится в атмосферу.
Типы сорбентов
Активированный уголь: наиболее популярный тип сорбента, получаемый из скорлупы кокосового ореха или битумного угля. Обладает исключительно высокой удельной поверхностью, что обеспечивает эффективную адсорбцию высококипящих летучих органических соединений.
Каталитический активированный уголь: модифицированный активированный уголь, поверхность которого обработана для каталитического окисления соединений. Особенно эффективен для улавливания сероводорода, который преобразуется в элементарную серу с высокой адсорбционной способностью.
Оксид алюминия с карбонатом калия: смесь 40-60 % активированного оксида алюминия и 40-60 % карбоната калия обеспечивает повышенную прочность, открытую пористую структуру и высокую температуру воспламенения.
Специализированные катализаторы: проприетарные каталитические материалы для разложения перфторуглеродов при пониженных температурах.
Особенности
- Для работы необходимо только подключение электричества и подача N2
- Широкий спектр утилизируемых газов
- Эффективность более 99 %
- Различные типы и размеры канистр в зависимости от необходимой производительности
- Возможность установки двух канистр
- Возможность работы с водородосодержащими газами
- Габариты (Ш х Г х В): 750×800×1600 мм
- Низкие капитальные и эксплуатационные затраты
Печать/PDF