ПОИСК ПО САЙТУ
О компании
Демозал
Карьера
Политика конфиденциальности
Сертификаты
Пресс-центр
Каталог оборудования
Решения «под ключ»
МЭМС
ГИС
Биочипы
Фотоника
Радиоэлектроника
Силовая электроника
СВЧ
ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643
_1.jpg)
_1.jpg)
Печать/PDFTE-200 — это однокамерная система для осаждения тонких плёнок материалов методом термического испарения. В большинстве случаев используется для нанесения плёнок металлов и их сплавов. Разработана для мелкосерийных производств и позволяет работать с пластинами диаметром до 200 мм.
Особенности
- Возможность обрабатывать подложки различной формы
- Вращающийся подложкодержатель
- Возможность использования нескольких источников испарения с защитными экранами от перекрестного загрязнения
- Дополнительный контроль толщины осаждаемых пленок
- Доступные процессы:
- осаждение металлов (Au, Ag, Al, Cr, Cu, Ti и т.д.)
- осаждение сплавов
- формирование покрытий при совместном испарении
- Возможность использования источника для предварительной очистки поверхности (ионный источник или ВЧ-электрод)
- Неравномерность: ≤5 % (для пластины Ø 200 мм)
- Контроль толщины осаждаемых пленок (QCM)
- Полностью безмасляная система откачки
Результаты технологических процессов
Результаты осаждения Cu на кремниевые пластины
Результаты осаждения Ti
Результаты осаждения Ag
Многослойное осаждение Ti-Au
| Параметр | Значение / описание |
| Образец материалов для напыления | Cr, Cu, Ni, Ti, Al, Au, Ag и т.д. |
| Максимальный размер подложки | До Ø200 мм |
| Производительность за цикл | — 24 x Ø 50 мм — 24 x (60 × 48) мм — Возможность работы с одной пластиной Ø200 мм |
| Рабочая камера | — Камера из нержавеющей стали (SUS) с ручным открыванием фронтальной двери — Смотровые окна с заслонками — Экраны из нержавеющей стали (SUS304) |
| Держатель образцов | — Нагрев при помощи ИК-ламп — Макс. температура: 400 °C — Вращение: 0÷20 об/мин |
| Источник термического испарения | — Источник питания с выходной мощностью: макс. 6 кВт — Метод нагрева: прямой резистивный — Количество источников: 3÷5 шт. (W-лодочка) — Переключатель выбора лодочки |
| Контроль толщины слоёв | — Кварцевый датчик (QCM) и контроллер — Контроль по свидетелю |
| Вакуумная система | — Криогенный или турбомолекулярный насос и сухой форвакуумный насос — Предельный вакуум < 5,0 × 10⁻⁷ Торр |
| Управление | — Управление при помощи ПК на базе Windows — ПО собственной разработки |
Запросить в один клик
Заказать звонок