DSLP630 — установка для высокоточной и стабильной двухсторонней шлифовки и полировки пластин. Благодаря использованию различных вариаций шлифовальных дисков, а также абразивных суспензий система подходит для двухсторонней обработки пластин и изделий из широкого спектра полупроводниковых и иных материалов, требующих обработки с высокой степенью качества поверхностей.
Особенности
Пневматическая система прижима с пропорциональным клапаном для точного контроля давления
·Три независимых привода: для верхнего и нижнего шлифовальных дисков, а также для солнечной шестерни
Планетарные держатели пластин/заготовок (сепараторы) с возможностью конфигурации в соответствии с потребностями заказчика
Система контроля поверхности шлифовального диска
Диаметры обработки
до 10 х Ø100 мм
Давление обработки
400 кгс
Размеры верхнего и нижнего шлифовальных дисков
Внешний
Ø635 мм
Внутренний
Ø225 мм
Шаг передаточных зубьев
9B*6
Количество сепараторов (планетарных держателей)
5
Разрешение системы измерения толщины
1 мкм
Скорость вращения верхнего и нижнего дисков
0-85 об/мин
Скорость вращения солнечной шестерни
0-100 об/мин
Биение нижнего диска
≤20 мкм
Масса установки
3300 кг
Габариты установки
1500×1800×2000 мм
Запросить в один клик
Заказать звонок
Запрос оборудования на тестирование
?>
Сайт использует файлы cookie, обрабатываемые вашим браузером. Подробнее об этом вы можете узнать в Политике cookie.