Автоматическая установка утонения пластин с двумя шпинделями DGA12-3

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643

Автоматическая установка утонения пластин с двумя шпинделями DGA12-3

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

DGA12-3 — автоматическая установка утонения пластин из карбида, сапфира, кремния, германия, арсенида галлия, кварцевого стекла, различных керамик и других твердых и хрупких полупроводниковых материалов для их применения в серийных производствах микросхем, LED и т. д. Оснащена двумя утоняющими головами с аэростатическими шпинделями и тремя столами обработки. Позволяет полностью автоматическую работу с пластинами в открытых кассетах диаметром до 300 мм.

Особенности

Автоматическая загрузка/выгрузка пластин в кассетах
Конфигурация — для крупномасштабных производств
Две утоняющие головы для проведения черновой и тонкой обработок
Аэростатические шпиндели утоняющих голов
Механизм перемещения пластин барабанного типа с тремя столами обработки

Номер модели		DGA12-3
Диаметр пластин		До Ø300 мм
Шпиндели утоняющих голов	Тип шпинделя	Высокочастотный аэростатический шпиндель
	Количество шпинделей	2
	Мощность шпинделя	12 кВт
	Скорость вращения	0-4000 об/мин
	Мин. шаг движения по оси Z	0,1 мкм
	Разрешение энкодера по оси Z	0,1 мкм
Прибор измерения толщины	Диапазон измерения	0-1200 мкм
	Разрешение	0,1 мкм
	Воспроизводимость измерений	±0,5 мкм
Столы обработки	Тип шпинделя	Аэростатический шпиндель
	Тип стола	Из пористой керамики
	Зажим пластин	Вакуумный
	Скорость вращения	0-400 об/мин
	Количество	3
Габариты (Ш х Г х В)		3500×1800×2200 мм
Масса		5000 кг

Автоматическая установка утонения пластин с двумя шпинделями DGA12-3

Особенности

Запросить в один клик

Заполните форму

Запрос оборудования на тестирование