Полуавтоматическая установка утонения обратной стороны пластин с двумя шпинделями BT-200M-2 / BT-300M-2

BT-200M-2 / BT-300M-2 — полуавтоматическая установка для прецизионного утонения обратной стороны пластин из различных материалов (Si, SiC, GaAs, GaN, сапфир, ...) с двумя шпинделями для процессов черновой и тонкой обработки в одной машине. Процесс утонения — автоматический, с ручной загрузкой и выгрузкой пластины. Установка предназначена для мелкосерийного и среднесерийного производства.

Особенности

• Автоматический процесс утонения, ручная загрузка пластин
• Система с двумя шпинделями для быстрой и прецизионной шлифовки
• Работа с пластинами до 200 мм (BT-200M-2) или до 300 мм (BT-300M-2)
• Встроенная автоматическая система измерения толщины пластины
• Встроенная система правки полировального диска
• Область применения: Si, SiC, GaAs, GaN, InP, сапфир, металлы, стекло, керамика, углеродосодержащие материалы, композитные материалы
• Минимальные повреждения поверхности и внутренние напряжения пластины после утонения
• Высокий выход годных и высокая производительность