Автоматическая система временного бондинга ATB-12

ATB-12 — автоматическая система временного бондинга, охватывающая ключевые этапы процесса. На начальном этапе, перед монтажом пластин, на пластину-носитель наносится адгезив. При этом для разных видов промежуточных материалов (термопластичных клеев, восков, резин или лент) применяются различные технологии.

Система оснащена модулем АОИ для проверки пластины на наличие дефектов и повреждений, а также модулем монтажа пластин на рамку с плёночным носителем. Система также подходит под процессы 2,5D- и 3D-микросборки.

Особенности

• Одновременная работа с четырьмя контейнерами типа FOUP
• 2-3 модуля нанесения адгезива
• Дополнительный модуль для удаления краевого валика после процесса нанесения адгезива
• Наличие модулей сушки адгезива и охлаждения подложек
• 1-3 модуля для бондинга пластин
• Производительность до восьми подложек в час