Системы доставки, слива, смешивания химических реагентов CUS

Автоматизированная система CUS (Central Unit Supply) — высокоинтегрированный комплекс дозирования, смешивания и централизованной подачи технологических жидкостей. Обеспечивает бесперебойную транспортировку особо чистых химических реагентов (кислот, щелочей и т. д.) из точек хранения (бочки, IBC-контейнеры, мини-танки) непосредственно к точкам потребления на пластинах — в реакторы травления, установки химической механической планаризации (CMP) или установки мокрой очистки.

Особенности

• Возможность непрерывной подачи реагентов
• Соответствие требованиям FM-4910 к пожарной безопасности
• Оснащение системой пожаротушения углекислым газом для легковоспламеняющихся и взрывоопасных химикатов
• Иерархические настройки блокировки для обеспечения безопасной и надежной работы
• Функции связи с главным компьютером и обратной связи в режиме реального времени о состоянии машины
• Модульный дизайн
• Соответствие стандартам SEMI S2, SEMI S8 и CE