Автоматическая система обработки фоторезиста для взрывной литографии (lift-off) TR639

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643

Автоматическая система обработки фоторезиста для взрывной литографии (lift-off) TR639

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

TR639 — автоматическая установка обработки резистов кластерного типа для формирования структур методом взрывной литографии (lift-off) в условиях среднесерийного и крупносерийного производства. Модульная конструкция позволяет устанавливать до шести рабочих модулей. Производительность обеспечивает высокоскоростной робот.

Особенности

Полностью автоматическая обработка, загрузка пластин из кассеты
Ванна для предварительного замачивания перед lift-off с функциями нагрева, ультразвука и покачивания кассеты
Сопло подачи растворителя под высоким давлением с функцией нагрева
Возможность установки щетки
Функции отмывки обратной стороны, отмывки чаши, сушки азотом
Системы фильтрации воздуха и химических реагентов

Работа с пластинами до Ø 8 дюймов
Давление подачи растворителя: 1-18 Мпа
Температура нагрева растворителя до 90 ℃
Точность поддержания температуры: ± 2 ℃
Максимальное ускорение центрифуги до 20 000 об/мин/сек
До четырех сопел подачи химических веществ для отмывки

Автоматическая система обработки фоторезиста для взрывной литографии (lift-off) TR639

Запросить в один клик

Заполните форму

Запрос оборудования на тестирование