Вертикальная установка для отмывки кварцевых/SiC труб VTC

Установка модели VTC — специализированная технологическая ванна для проведения химической очистки крупногабаритных кварцевых и карбидкремниевых (SiC) компонентов технологических печей. Процесс осуществляется в статическом вертикальном положении обрабатываемых изделий, таких как: реакторные трубы, внешние защитные трубы термопар, диффузионные лодочки и держатели подложек.

В отличие от стандартных установок с вращением модель ориентирована на деликатную обработку длинномерных и хрупких компонентов. Изделия погружаются в химический раствор в строго вертикальной ориентации, что исключает риск механического изгиба или деформации, неизбежного при горизонтальном перемещении размягченного в процессе эксплуатации кварца. Очистка происходит за счет химической реакции и пассивного перемешивания раствора без применения динамических нагрузок на деталь.

Особенности

• Безопасность рабочей среды и операторов благодаря герметичности
• Полностью автоматический контроль рабочего процесса
• Гибкое и удобное редактирование рецептов
• Возможность очистки деталей разных размеров
• Возможность совмещенной очистки кварцевых лодочек / труб
• Интуитивно понятный графический интерфейс программного обеспечения
• Возможность изготовления нестандартных установок под требования заказчиков