Фильтр
AWB-200 — полностью автоматическая система для групповой жидкостной обработки, разработанная для серийного производства. Идеально подходит для интеграции в производственные линии, где необходимы высокая производительность и максимальная надежность. Широко применяется в таких высокотехнологичных отраслях, как полупроводниковая промышленность, производство МЭМС и микроструктур, обеспечивая стабильное качество и эффективность процессов.
АWB-300 — полностью автоматическая система для групповой жидкостной обработки, предназначенная для серийного производства.
Широко применяется в таких высокотехнологичных отраслях, как полупроводниковая промышленность, производство МЭМС и микроструктур, обеспечивая стабильное качество и эффективность процессов
Установка для жидкостной химической обработки предназначена для реализации стандартных технологических процессов SCI, SC2, HF (в любой концентрации), HF, DSP, KOH и других. Установка в корпусе из нержавеющей стали позволяет реализовывать даже технологические процессы с использованием растворителей с максимальной безопасностью для оператора. Кроме того, возможна реализация специализированных технологических процессов с поддержкой опытных технологов компании AP&S. Установка производится как из экономичного материала ПП, так и материала, соответствующего стандарту FM 4910.
SpinEtcher от AP&S — это проверенная установка для процессов формирования транзисторов в приповерхностных слоях (FEOL) и формирования межэлементных соединений и межуровневой разводки (BEOL).
