Семинар "Актуальные технологии и оборудование для литографии и обработки фоторезистов" (Зеленоград)
18 ноября 2025 года компания Остек-ЭК совместно с компаниями Остек-Интегра и Остек-АртТул проведёт семинар, посвящённый современным технологиям литографии и обработки фоторезистов. Мероприятие состоится на площадке Зеленоградского нанотехнологического центра.
Участники познакомятся с фундаментальными принципами и практическим применением методов контактной и безмасковой фотолитографии, наноимпринтной, электронно-лучевой и проекционной литографии.
Обсуждаемые вопросы:
- Оборудование и технологические особенности процесса подготовки подложек перед литографией
- Обзор доступных материалов для литографии
- Оборудование и основы технологии различных методов литографии
- Основные методы инспекции фоторезистных структур
- Роль чистого помещения в фотолитографии
- Проблемы на текущих производствах и возможные пути их решения
Семинар будет полезен инженерам, технологам, руководителям производств и другим специалистам, работающим в сфере микроэлектроники.
Приглашаем вас принять участие!
Более детальная информация о месте и времени проведения, а также программа мероприятия будут представлены позднее.