Остек-ЭК проведёт серию семинаров, посвященных передовым методам и процессам формирования тонкопленочных структур
В августе 2025 компания Остек-ЭК запланировала серию семинаров, посвященных передовым методам и процессам формирования тонкопленочных структур.
Программа семинара «Передовые методы и процессы формирования тонкопленочных структур: от оборудования до контроля качества» включает презентацию оборудования, разбор ключевых технологических аспектов в области тонкоплёночных технологий с акцентом на практическую реализацию. Семинары пройдут в трех городах – Москве, Томске и Санкт-Петербурге.
|
|
21 АВГУСТА – МОСКВА
26 АВГУСТА – ТОМСК
28 АВГУСТА – САНКТ-ПЕТЕРБУРГ
Обсуждаемые вопросы:
1. Технологическое оборудование
-
Плазмохимическое травление: RIE, ICP-RIE, CCP, TCP, DRIE, Bosh, Asher
-
Осаждение тонких пленок: CVD, PVD, ALD, PECVD, HDPCVD
-
Эпитаксиальные процессы и установки для получения Si/SiGe/A3B5 структур
2. Отработка техпроцессов
-
Практические результаты по оптимизации параметров техпроцессов: PVD, PECVD, Dry etching
-
Реальные примеры решения проблем
3.Контроль качества
-
Современные методы метрологии для тонкоплёночных процессов
-
Контрольно-измерительное оборудование
4. Эксплуатационные аспекты
-
Подбор материалов
-
Стратегии сервисного обслуживания для увеличения ресурса оборудования
Приглашаем вас принять участие в семинарах компании Остек-ЭК!
Вы можете зарегистрироваться на мероприятия с помощью форм регистрации.
Более детальная информация о месте и времени проведения, а также программа мероприятия доступны по ссылке