Заказать звонок +7 495 788-44-44
Меню
ПОИСК ПО САЙТУ
Каталог товаров Сборочное производство Полупроводниковое производство
АОИ, тестирование и контроль Инженерные решения для ЧПП
Расходные материалы
О компании Демозал Карьера Политика конфиденциальности Сертификаты Пресс-центр Каталог оборудования Решения «под ключ» МЭМС ГИС Биочипы Фотоника Радиоэлектроника Силовая электроника СВЧ
Услуги и сервис Сервис и модернизация Запасные части: 4MICRO.RU Технология Обучение персонала Сервис-деск База знаний Каталоги и брошюры Статьи Технологии Вебинары Личный кабинет Личные данные Ваше оборудование Заявки на сервис Анкеты Задать вопрос Лист запросов Подписка
Контакты
+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39
+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39

Установка АОИ пластин WI12

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643
Установка АОИ пластин WI12 Создание карты дефектов (mapping) Захват нескольких областей / типов дефектов одновременно (Multi ROI) Скомпонованное отображение всей пластины после инспекции. Фотография участка пластины Скомпонованное отображение всей пластины после инспекции. Отображение всех фотографий на пластине Примеры инспекции дефектов. Посторонние частицы и загрязнение поверхности Примеры инспекции дефектов. Посторонние частицы и загрязнение поверхности Примеры инспекции дефектов. Посторонние частицы и загрязнение поверхности Примеры инспекции дефектов. Посторонние частицы и загрязнение поверхности Примеры инспекции дефектов. Остатки фоторезиста Примеры инспекции дефектов. Дефекты проявления после фотолитографии Примеры инспекции дефектов. Замыкание токоведущих линий Примеры инспекции дефектов. Обрыв токоведущих линий Примеры инспекции дефектов. Дефекты перетрава Примеры инспекции дефектов. Дефекты перетрава Примеры инспекции дефектов. Измерение критических размеров структур Примеры инспекции дефектов. Измерение критических размеров структур Примеры инспекции дефектов. Измерение критических размеров структур
Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок
Печать/PDF

Wi-12 — система автоматической оптической инспекции поверхности пластин с автоматической загрузкой. Подходит для серийного производства на 8- и 12-дюймовых пластинах.

Особенности

  • Инспекция пластин без рисунка и со сформированными структурами
  • Для финальной выходной инспекции, нахождения и анализа дефектов после процессов фотолитографии, травления и химико-механической планаризации
  • Камеры высокого разрешения с системами автоматической фокусировки и смены объективов
  • Работа в светлом и темном полях
  • Автоматический поиск и классификация дефектов
  • Использование алгоритмов машинного обучения
  • Возможность полной автоматизации (SECS/GEM)
  • Опциональное измерение критических размеров структур на увеличении 50х

Размер пластин

200 / 300 мм

Разрешение и увеличение объектива

  • 5,5 мкм при увеличении 1х
  • 2,75 мкм при увеличении 2х
  • 1,57 мкм при увеличении 3.5х
  • 1,1 мкм при увеличении 5х
  • 0,55 мкм при увеличении 10х
  • 0,275 мкм при увеличении 20х

Освещение

  • Светлое поле (широкий диапазон и монохромное излучение)
  • Темное поле (кольцевое освещение с малым углом)

Производительность

150 пластин/час при увеличении 1x



1Лист запросов
В лист запросов →
+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39
© 2020 ООО «Остек-ЭК»
?>
Сайт использует файлы cookie, обрабатываемые вашим браузером. Подробнее об этом вы можете узнать в Политике cookie.
ПринятьНастроитьОтклонить