8” Полуавтоматическая установка быстрого отжига RTA-8SA

RTA-8SA — Полуавтоматическая установка быстрого термического отжига серии предназначена для обработки кремниевых пластин диаметром до Ø8 дюймов (200×200 мм) , а также полупроводниковых материалов второго и третьего поколений, включая SiC, GaN, GaAs, InP и других типов подложек и эпитаксиальных структур.

Особенности

• Полуавтоматический режим работы с загрузкой/выгрузкой пластин оператором
• Нагрев пластин с двух сторон
• Подходит для пластин от Ø2 до Ø8 дюймов
• Диапазон температур отжига: 300°C~1000°C (Высокотемпературный тип по запросу заказчика с макс. температурой 1350°С).
• ПЛК на ОС Windows
• Скорость нагрева: до 150°C/с
• Однородность температуры: ≤±0.5% (>500°С)
• Контролируемое давление в камере, опция: турбомолекулярный насос для обеспечения более высокой степени вакуума
• Водяное охлаждение камеры
• Линия азота для продувки камеры
• Управление потоком газов с помощью РРГ, 2-4 линии рабочих газов.