Система отмывки пластин ADT 977

Установка оснащена центрифугой с держателем пла-стин и вращающимся манипулятором для подачи очищающей жидкости. Он может оснащаться соплом для распыления и соплом для подачи жидкости под высоким давлением, что обеспечивает комплексное решение для высококачественной отмывки широкого спектра различных типов пластин и подложек.

• Чистка - распылением
• Сепарация воздуха и азота
• Датчики давления азота и воды
• Внутренний вакуумный генератор для фиксации изделий
• Защитная блокировка
• Автоматическое закрытие / открытие       

Эффективные методы очистки

Установка оснащена центрифугой с держателем пластин и вращающимся манипулятором для подачи очищающей жидкости. Он может оснащаться соплом для распыления и соплом для подачи жидкости под высоким давлением, что обеспечивает комплексное решение для высококачественной отмывки широкого спектра различных типов пластин и подложек.   

Простота управления

ADT 977 очень проста в управлении. Интуитивно понятное управление легко позволяет оператору задавать желаемую последовательность программы отмывки, скорость вращения центрифуги и продолжительность отмывки. Общее количество хранимых программ отмывки до 8. В установке ведется постоянный мониторинг и отображение параметров процесса, его статуса и времени.   

Высокая универсальность ADT 977 поддерживает работу с пластинами диаметром до 300 мм. Под требования заказчика могут быть изготовлены различные рамки и оснастка для фиксации пластин.

Преимущества: 

• Компактность
• Чистка выполняется распылением и под  высоким давлением
• Проста в управлении – запуск одним нажатием с автоматическим закрыванием крышки
• Интуитивно понятная панель управления
• Отображение состояния и неисправностей позволяют контролировать процесс
• Световой индикатор состояния и сирена
• Соответствие высочайшим стандартам безопасности

Дополнительные опции:   

• Держатели:
• керамический 5”, 6”, 8”
• зажимные кольца
• для пластин без носителя
• Откачка мороси
• Ионизатор для предотвращения статического разряда
• Присадки для очистки
• Разделение стока
• Насос высокого давления
• Впрыск CO₂ 

Модификации установки WCS-977:

1. Стандартная, модель WCS-977 – возможность отмывки пластин диаметром до 8 дюймов
2. Расширенная, модель WCS-977LA – возможность отмывки пластин диаметром до 12 дюймов
3. С системой нанесения, модель WCS-977D – возможность нанесения/снятия защитного покрытия:

• Технология центрифужного нанесения;
• Обеспечение полной защиты пластины во время резки;
• 100% удаление загрязнений и продуктов резки;
• Глубокая очистка и сушка в атмосфере азота.

Сравнение характеристик модельного ряда*

* Модификация WCS-977D устанавливается на одну из двух базовых