Установка для монтажа полупроводниковых пластин на пленочный носитель ADT модели 966 позволяет устанавливать полупроводниковые пластины на рамки, используя различные типы пленок. Станция поставляется в 6"/8" и 8"/12" конфигурациях.
Равномерный прижим и натяжение пленочных носителей без образования воздушных пузырьков
Встроенный размотчик и отделитель защитной ленты с УФ-пленки
Совместимость со всеми типами пленочных рамок
Программируемое регулирование температуры
Встроенный циркулярный нож, срезающий остатки пленки
Защита от статического напряжения (опция)
Бесконтактный монтаж (опция)
Благодаря уникальным особенностям установки, таким как встроенное автоматическое удаление защитной ленты с УФ-пленки, защита от электростатического разряда и многим другим, достигается высокий уровень производительности и удобства эксплуатации.
Стандартная комплектация:
Совместима со стандартными 6" и 8" рамками или с 8" и 12" рамками
Совместима с обычной, либо с УФ-пленкой
Встроенный регулятор температуры (до 70оС)
Автоматическое удаление защитной ленты с УФ-пленки
Центровочные пальцы позволяют осуществлять прецизионное ориентирование рамок
Магниты, удерживающие рамку во время монтажа
Полупроводниковая пластина прочно удерживается на рамке посредством вакуума
Специальные метки на держателе подложек помогают в центрировании и выравнивании подложек
Циркулярный нож отрезает оставшуюся пленку после монтажа подложек
Циркулярный нож отрезает
оставшуюся пленку
Автоматическое удаление
защитной ленты с УФ-пленки
Программируемое регулирование
температуры
Опции:
Система защиты от статического электричества
4" и 5" рамки
Специальные держатели подложек для обработки групповых заготовок