MEpi-1300L — система молекулярно-лучевой эпитаксии для крупносерийного производства пластин диаметром до 8″. Оснащена системой мониторинга in-situ для контроля состояния роста в реальном времени, а также источниками большой ёмкости для проведения долгих процессов роста. Полностью автоматизированные операции обеспечивают легкий и надежный контроль за процессом. По надёжности, стабильности и экономичности соответствует требованиям, установленным в Semi S2.