|
Зона дозирования (X/Y)
|
300×180 мм (один трек с модулями загрузки/выгрузки)
|
|
Точность дозирования
|
X/Y: ±0,02 мм @ 3σ; Z: ± 0,01 мм @ 3σ
|
|
Повторяемость
|
X/Y: ±0,01 мм @ 3σ; Z: ±0,005 мм @ 3σ
|
|
Скорость перемещения дозирующей головы
|
X/Y: до 1300 мм/с; Z: до 500 мм/с
|
|
Максимальное ускорение
|
X/Y: до 1,3 g; Z: до 0,5 g
|
|
Приводной механизм
|
X/Y: линейный двигатель + grating ruler (Z: сервомотор с подающим винтом)
|
|
Высота от пола до трека
|
890 — 965 мм
|
|
Механизм подачи
|
Устойчивый к высоким температурам конвейерный трек с антистатическим покрытием
|
|
Ширина трека
|
От 50 до 180 мм (настраиваемая)
|
|
Масса заготовки (подложки)
|
До 3 кг
|
|
Толщина заготовки (подложки)
|
От 0,5 до 9 мм
|
|
Программное обеспечение
|
Win 10 64-бит, собственное ПО (FS600)
|
|
Электропитание
|
AC 220 В, 50 Гц, 3,5 кВт
|
|
Габаритные размеры (Ш x Г x В)
|
1755×1450×2000 мм (с учётом модулей загрузки/выгрузки)
|