Заказать звонок +7 495 788-44-44
Меню
ПОИСК ПО САЙТУ
Каталог товаров Сборочное производство Полупроводниковое производство
АОИ, тестирование и контроль Инженерные решения для ЧПП
Расходные материалы
О компании Демозал Карьера Политика конфиденциальности Сертификаты Пресс-центр Каталог оборудования Решения «под ключ» МЭМС ГИС Биочипы Фотоника Радиоэлектроника Силовая электроника СВЧ
Услуги и сервис Сервис и модернизация Запасные части: 4MICRO.RU Технология Обучение персонала Сервис-деск База знаний Каталоги и брошюры Статьи Технологии Вебинары Личный кабинет Личные данные Ваше оборудование Заявки на сервис Анкеты Задать вопрос Лист запросов Подписка
Контакты
+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39
+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39

Полуавтоматическая система химико-механической полировки CMP-150

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643
Полуавтоматическая система химико-механической полировки CMP-150 Рабочая зона Модуль кондиционирования полировальной подушки Держатель пластин Интерфейс системы контроля окончания процесса
Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок
Печать/PDF

CMP-150 — полуавтоматическая установка химико-механической полировки для мелкосерийного производства и НИОКР. Позволяет проводить процессы ХМП меди, вольфрама, оксидов, мелкощелевой изоляции STI и т. д.

Особенности

  • Автоматическая работа по рецепту, ручная загрузка и выгрузка пластин
  • Одна рабочая голова для работы с пластинами до 150 мм
  • Независимый контроль усилия прижима пластины и удерживающего кольца для оптимизации профиля удаления материала
  • Пневматическое управление давлением с использованием высокоточного электронного регулятора
  • Система кондиционирования полировальной подушки
  • Опция мониторинга силы трения для контроля точки окончания процесса
  • Опция мониторинга температуры полировальной подушки

  • Работа с пластинами до Ø 6 дюймов
  • Скорость вращения: 30 — 200 об/мин
  • Усилие прижима: 70 — 500 г/см2
  • Диаметр полировального стола: 406 мм
  • Скорость вращения полировального стола: 30 — 200 об/мин
  • Габариты (Ш × Г × В): 1000×1000×1900 мм
  • Масса: 950 кг


1Лист запросов
В лист запросов →
+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39
© 2020 ООО «Остек-ЭК»
?>
Сайт использует файлы cookie, обрабатываемые вашим браузером. Подробнее об этом вы можете узнать в Политике cookie.
ПринятьНастроитьОтклонить