|
Параметр
|
Значение
|
|
|
Методы монтажа
|
Монтаж на клей (дозирование/штемпелевание), flip-chip
|
|
|
Точность монтажа
|
±3-7 мкм, (θ: ±0,3°)
|
|
|
Скорость работы
|
Производительность: 600 шт./час; 3-6 секунд на один цикл (зависит от типа кристалла, процесса и параметров работы)
|
|
|
Модуль монтажа
|
Рабочая зона (X/Y)
Ход осей (X/Y/Z)
Угол поворота монтажной головы
|
300×200 мм (повторяемость: ≤0,5 мкм)
400/370/110 мм
360° (повторяемость: 0,1°)
|
|
|
Размеры чипа
|
0,17×0,17 мм — 10×10 мм
|
|
|
Усилие монтажа
|
10 — 2 000 гс (функция контроля усилия в реальном времени)
|
|
|
Магазин инструментов захвата
|
Автоматическая смена инструмента. Магазин на семь инструментов (опционально увеличение до 14)
|
|
|
Модуль дозирования
|
Метод
|
Время/давление (поддерживает 3, 5, 10, 30 cc шприцы)
|
|
|
Измерение высоты
|
Контактный датчик (опционально: бесконтактный метод)
|
|
|
Встроенные функции
|
Виртуальная симуляция процесса, дозирование с оптическим контролем, автоматическая калибровка игл, точечное и линейное дозирование
|
|
|
Метод подачи кристаллов
|
Из кассет 2″ Gel-Pak / Waffle Pack (держатель на шесть кассет) С пластины диаметром до 12″
|
|
Кассета для подачи пластин на металлических рамках-носителях
|
До 25 пластин диаметром 6″ — 12″
|
|
Инструменты выталкивания кристаллов
|
Пять инструментов с автоматической калибровкой и заменой (карусель на пять инструментов)
|
|
Конвейер
|
Настраиваемая ширина конвейера в диапазоне 60 — 200 мм
|
Система машинного зрения
Поле зрения камер и функции
|
Камера на пластину, камера (верхняя и нижняя): 4,4×3,3 мм
RGB настраиваемая подсветка; функция распознавания изображений
|
|
Дополнительные функции (опциональные)
|
Модуль предварительного УФ-экспонирования
Модуль flip-chip монтажа
Модуль расширения пластин 12″
Модуль загрузки/выгрузки (поддерживает один магазин 230×220 мм)
|
|
Электропитание
|
220 В, 50 Гц, 3,2 кВт (16 А)
|
|
Сжатый воздух
|
0,4 — 0,6 МПа, 20 л/мин, диаметр трубы 10 мм
|
|
Вакуум
|
≥ - 80 кПа, 25 л/мин, диаметр трубы 10 мм (опционально насос)
|
|
Габаритные размеры (ШxГxВ)
|
1350×1300×1750 мм (без загрузки/выгрузки)
|
|
Масса
|
1500 кг
|