Фильтр
SACD-200 — полуавтоматическая установка для нанесения, сушки и проявления фоторезиста с ручным размещением пластин. Предназначена для работы с фоторезистами и полиимидами различной степени вязкости, обеспечивает высокую равномерность нанесения и проявления резистов.
PC-200 — полуавтоматическая установка спреевого нанесения фоторезиста с ручным размещением пластин. Предназначена для работы с фоторезистами и полиимидами различной степени вязкости, обеспечивает высокую равномерность нанесения резистов на сложные поверхности при формировании TSV, TGV, бампов, выводных рамок и структур на печатных платах.
MSC150 / MSC200 — компактная установка нанесения фоторезиста методом центрифугирования с возможностью проведения процесса по рецепту. Подходит для лабораторных и образовательных применений при создании МЭМС и прочих устройств.
VSC200 — полуавтоматическая установка нанесения фоторезиста методом центрифугирования для применений в НИОКР и малосерийных производствах МЭМС и других областях. Позволяет добиваться процесса нанесения с высокой однородностью на пластинах до Ø150 мм.
NC200 — полуавтоматическая установка спреевого нанесения фоторезиста для применений в НИОКР и малосерийных производствах МЭМС, КМОП-матриц (CIS) и других областях. Позволяет добиваться процесса нанесения на рельеф и структуры с высоким аспектным соотношением на пластинах до Ø200 мм.
dNC150 — настольная полуавтоматическая установка спреевого нанесения фоторезиста для применений в НИОКР и малосерийных производствах МЭМС, КМОП-матриц (CIS) и других областях. Позволяет добиваться процесса нанесения на рельеф и структуры с высоким аспектным соотношением на пластинах до Ø150 мм.
SASC811 — установка нанесения фоторезиста методом центрифугирования для обработки по одной пластине в условиях мелкосерийного производства и НИОКР. Совместима с пластинами до Ø200 мм, а также прямоугольными подложками, загрузка и выгрузка осуществляется вручную. Установка работает в автоматическом режиме по рецепту, подача резистов может осуществляться как прецизионным дозирующим насосом, так и вручную при помощи шприцев. Доступна установка сопел для удаления краевого валика и отмывки обратной стороны.
SC-815 — установка для нанесения фоторезиста методом распыления на полупроводниковые пластины диаметром до Ø200 мм. Обеспечивает автоматическую обработку по рецепту с ручной загрузкой и выгрузкой пластин. Имеет одну станцию нанесения с системой автоматического распыления резистов, оснащенную рабочим столиком с функциями вращения и нагрева, обеспечивающими высокую равномерность толщины резиста и возможность нанесения толстых пленок. Нанесение резиста осуществляется при помощи высокоточной двухосевой сканирующей системы распыления. Модель SC-815 разработана для задач мелкосерийного производства и НИОКР.