Автоматическая система совмещения и экспонирования EVG 620 с опцией НИЛ

Параметры пластины/подложки

Размер

до 150 мм, 150 мм х 150 мм

Толщина

Устройство совмещения маски: 0,1-10 мм (< 2 мм для совмещения по нижней стороне).

Устройство совмещения для соединения пластин: 0,1-3 мм

Размер маски

до 7˝ с толщиной < 6,35 мм

Совмещение

Область совмещения

Х, Y, Z: ± 5 мм

Поворот

θ ± 30

Точность перемещения по осям

0,6 мкм

Все перемещения выполняются полностью моторизовано, с управлением от 3-осного джойстика или посредством высокопрецизионных микрометров.

Точность совмещения

Узел совмещения маски

0,5 мкм для совмещения по верхней стороне (с 20х объективами), 1 мкм для совмещения верхней поверхности относительно нижней (с 20х объективами)

Узел совмещения пластин

0,5 мкм для стекло/кремний, 1 мкм для кремний/кремний

Система перемещения

3-осный робот, отправка, транспортировка, получение и выгрузка кассет

Точность робота

± 25 мкм

Производительность: 150 пластин в час

Точность станции пре-совмещения: X: ± 50 мкм, Y: ± 50 мкм, θ: ± 0,090

Автоматическое совмещение

Точность

< 0,5 мкм с 10х объективами и заданными реперными знаками

Регулировка расстояния/микрозазора

Расстояние

Диапазон регулировки максимум 300 мкм с шагом в 1 мкм (разрешение перемещения по оси Z — 0,33 мкм)

с управлением от микропроцессора

Контактное усилие между маской и подложкой для клиновой компенсации

Узел совмещения маски/пластин

от 0,5 до 40 Н/от 1 до 40 Н

Экспонирование

Режимы

Вакуумный контакт, мягкий, жесткий контакт, экспонирование с зазором

Разрешение

≤ 0,6 мкм в вакуумном контакте; ≤ 1,5 мкм при жестком контакте;

≤ 2 мкм при мягком контакте; ≥ 5 мкм при зазоре

Длина волны

350-450 нм (NUV, по умолчанию), опционально: до 240-350 нм (DUV)

Дуговая ртутная лампа

350 Вт, 500 Вт, 1000 Вт

Монитор/камера

Черно-белые CCD-камера и монитор с высоким разрешением