Система магнетронного распыления с возможностью проведения совместных процессов ULTECH SPS-TG Series

Система SPS-TG Series предназначена для создания тонкоплёночных покрытий из различных материалов с возможностью гибкой настройки процесса.

Функциональные возможности:

• настраиваемое положение катода: сверху, снизу, сбоку или под углом;
• различные типы источников питания: ВЧ, постоянного тока и постоянного тока, работающего в импульсном режиме;
• система вращения пластины для плоской и трехмерной геометрии;
• регулирование расхода газа.

Применение:

• нанесение покрытий из материалов на основе классических технологий;
• напыление сплавов и интерметаллических соединений;
• поочередное напыление параллельных и антипараллельных магнитных тонкопленочных слоев;
• поочередное напыление проводящих, полупроводниковых и изоляционных слоев;
• напыление отражающих и антибликовых оптических покрытий;
• нанесение оптоэлектронных пленок;
• реактивное распыление для нанесения упрочняющих покрытий.