ПОИСК ПО САЙТУ
О компании
Демозал
Карьера
Политика конфиденциальности
Сертификаты
Пресс-центр
Каталог оборудования
Решения «под ключ»
МЭМС
ГИС
Биочипы
Фотоника
Радиоэлектроника
Силовая электроника
СВЧ
Фильтр
Установка отмывки и сушки центрифугированием SRD-8-2
SRD-8-2 — установка отмывки и сушки центрифугированием для финишной очистки полупроводниковых пластин после различных технологических операций: травления, литографии, механической обработки. Процесс включает в себя вращение кассеты с пластинами в среде деионизированной воды для удаления частиц и химических остатков с последующей высокоскоростной сушкой центрифугированием. На финальном этапе для исключения образования водяного следа и ускорения процесса применяется продувка нагретым инертным газом (горячим азотом), что гарантирует кристальную чистоту поверхности перед следующей операцией передела.
Характеристики