CMPclean-200A — установка отмывки после процессов химико-механической полировки для мелкосерийного производства и НИОКР. Позволяет проводить отмывку в различной химии, чистку щетками, а также сушку пластин.
Особенности
Автоматическое управление по рецепту, автоматическая загрузка и выгрузка пластин
Четыре станции последовательной отмывки и сушки
Сушка пластин центрифугированием и продувкой азотом