СMPclean-300M – установка отмывки после процессов химико-механической полировки для мелкосерийного производства и НИОКР. Позволяет проводить отмывку в различной химии, чистку щетками, а также сушку пластин.
Особенности
Автоматическое управление по рецепту, ручная загрузка и выгрузка пластин
До двух линий подачи химии со спреевыми соплами
Сушка пластин центрифугированием и продувкой азотом