ПОИСК ПО САЙТУ

Плазменная очистка

Фильтр

Показать по:12 24 48 96

Список Таблица

Установка плазмохимического удаления полимерных слоев с поверхности пластин Ash-1 (ATM / VTM)

Ash-1 — серия установок плазмохимической обработки поверхности пластин для удаления фоторезиста, его остатков и полимеров с поверхности Ø 6- и 8-дюймовых пластин. Возможны как высокотемпературные (250 ⁰С), так и низкотемпературные (< 100 ⁰С) процессы.

Характеристики

Установка плазмохимического удаления полимерных слоев с поверхности пластин Ash-2 / Ash-2ST

Ash-2 — серия установок плазмохимической обработки поверхности пластин для проведения процессов удаления фоторезиста, его остатков и полимеров с поверхности пластин Ø 3- / 4- / 6- / 8-дюйма. Возможны как высокотемпературные (250 ⁰С), так и низкотемпературные (< 100 ⁰С) процессы. Система может быть представлена в двухкамерном и однокамерном исполнении.

Характеристики

Установка низкотемпературной плазмохимической обработки поверхности пластин Ash-3

Ash-3 – установка плазмохимической низкотемпературной обработки поверхности пластин. В основном применяется для обработки поверхности и удаления остатков полимера и других загрязнений в сформированных структурах (Descum) для пластин Ø 8’’ и 12’’.

Характеристики