8" Двухкамерная автоматическая установка быстрого отжига RTA-8AD

RTA-8AD — Автоматическая двухкамерная установка быстрого термического отжига с роботом-манипулятором для загрузки/выгрузки пластин предназначена для обработки кремниевых пластин диаметром до Ø8 дюймов, а также полупроводниковых материалов второго и третьего поколений, включая SiC, GaN, GaAs и других типов подложек и эпитаксиальных структур. Имеется конфигурация с портами загрузки SMIF.

Особенности

• Полностью автоматический режим управления. Робот автоматически загружает и разгружает пластины
• Загрузка из открытой кассеты (доступна конфигурация со SMIF)
• Нагрев пластин с двух сторон
• Диапазон температур отжига: 200°C~1300°C
• ПЛК на ОС Windows
• Скорость нагрева: ≤ 250°С/с
• Однородность температуры: ≤± 0.5% (>500°С)
• Возможность контроля давления в камере, опция: турбомолекулярный насос для обеспечения более высокой степени вакуума
• Водяное охлаждение камер
• Линия азота для продувки камер
• Управление потоком газов с помощью РРГ, с 3-5 линиями рабочих газов