BSC-A — полностью автоматизированная система для предварительной обработки пластин размером Ø200/300 мм и пластин с рамками размером до Ø12 дюймов. Включает блоки отмывки пластин и активации поверхности.
Особенности
Модульная конструкция
Внутренняя среда, достигающая класса чистоты ISO 1
Полностью автоматическое управление с помощью ПО, автоматическая загрузка / выгрузка обычных пластин и пластин с носителем