GP-AA300 — автоматическая система утонения и полировки пластин диаметром Ø200-300 мм, оснащенная шпинделями обрабатывающих голов и вращающегося стола-держателя с аэростатическим подшипником. В системе реализованы функции компенсации клина пластин, автоматического измерения толщины и загрузка/выгрузка пластин в контейнерах при помощи робота-манипулятора.
Особенности
Автоматическая система измерения толщины в реальном времени
Утонение и полировка пластин в одной машине
Функции очистки и сушки пластин центрифугированием
Автоматическая загрузка/выгрузка изделий в контейнере в режиме dry in/dry out при помощи робота
Поддерживает обработку пластин Ø200 и Ø300 мм
Аэростатические подшипники для шпинделей шлифовальной, полировальной голов и стола-держателя пластин