Автоматический трек обработки фоторезиста TR443

TR443 — автоматическая установка обработки фоторезиста кластерного типа, предназначенная для среднесерийного и крупносерийного производства.

Модульная конструкция позволяет установить до 4 модулей нанесения и проявления резиста, а также до 12 модулей термической обработки. Производительность обеспечивается высокоскоростным роботом.

Особенности

• Полностью автоматическая обработка, загрузка пластин из кассеты
• Высокая производительность
• Высокоточное механическое или оптическое центрирование пластин
• До 2 модулей нанесения и 2 модулей проявления резиста
• До 12 модулей термической обработки (сушка, задубливание, усиление адгезии, охлаждение)
• Функции отмывки обратной стороны, удаления краевого валика, отмывки чаши, сушки азотом
• Эффективные системы фильтрации воздуха и химии
• RRC-сопла для снижения расхода фоторезиста