Горизонтальная установка для отмывки кварцевых/SiC труб HTC

HTC — установка для проведения высокоэффективной химической обработки внутренних и наружных поверхностей технологических труб из кварцевого стекла (SiO₂) и карбида кремния (SiC). Процесс очистки критически необходим для удаления нежелательных слоев поликристаллического кремния, пиролитического углерода и других тугоплавких отложений, накапливающихся в ходе эпитаксии. Автоматизированная система погружения реализована при помощи вертикального манипулятора, обеспечивающего строго контролируемое линейное перемещение, в то время как вращение обрабатываемой трубы осуществляется приводными роликами. Это гарантирует равномерный контакт химического реагента со всей поверхностью и исключает риск механических напряжений в хрупкой керамике.

Особенности

• Безопасность рабочей среды и операторов благодаря герметичности
• Полностью автоматический контроль рабочего процесса
• Гибкое и удобное редактирование рецептов
• Возможность очистки деталей разных размеров
• Возможность совместной очистки кварцевых лодочек / труб
• Интуитивно понятный графический интерфейс программного обеспечения
• Возможность изготовления нестандартных установок под требования заказчиков