Заказать звонок +7 495 788-44-44
Меню
ПОИСК ПО САЙТУ
Каталог товаров Сборочное производство Полупроводниковое производство
АОИ, тестирование и контроль Инженерные решения для ЧПП
Расходные материалы
О компании Демозал Карьера Политика конфиденциальности Сертификаты Пресс-центр Каталог оборудования Решения «под ключ» МЭМС ГИС Биочипы Фотоника Радиоэлектроника Силовая электроника СВЧ
Услуги и сервис Сервис и модернизация Запасные части: 4MICRO.RU Технология Обучение персонала Сервис-деск База знаний Каталоги и брошюры Статьи Технологии Вебинары Личный кабинет Личные данные Ваше оборудование Заявки на сервис Анкеты Задать вопрос Лист запросов Подписка
Контакты
+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39
+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39

Кластерная система плазмохимического травления металлических слоёв для пластин диаметром 300 мм

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643
Кластерная система плазмохимического травления металлических слоёв для пластин диаметром 300 мм Результаты технологических процессов. Сформированные структуры травления слоев AlCu (силовая электроника) Результаты технологических процессов. Сформированные структуры травления слоев AlCu (силовая электроника) Результаты технологических процессов. Сформированные структуры травления слоев AlCu (силовая электроника) Результаты технологических процессов. Сформированные структуры травления слоев AlCu (силовая электроника) Результаты технологических процессов. Сформированные структуры травления слоев AlCu (МЭМС) Результаты технологических процессов. Сформированные структуры травления слоев AlCu (МЭМС) Результаты технологических процессов. Сформированные структуры травления слоев AlCu (МЭМС) Результаты технологических процессов. Сформированные структуры травления слоев AlCu (МЭМС) Результаты технологических процессов. Травление слоёв W Результаты технологических процессов. Травление слоёв W Результаты технологических процессов. Травление слоёв W Результаты технологических процессов. Травление слоёв W
Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок
Печать/PDF

Система PE12-M разработана специально для процессов травления высокоплотных алюминиевых межсоединений для завершающего цикла производства (BEOL), начиная с технологических норм 0.18 мкм. Также находит применение в BEOL-процессах создания алюминиевых контактных площадок.

Особенности

  • Разработана для крупносерийного производства
  • Подходит для процессов травления высокоплотных алюминиевых межсоединений, разводки и контактных площадок
  • Возможно травление широкого спектра металлических материалов, таких как W, Ti/TiN, Ta, Nb, Mo и др.

  • Разработана для пластин Ø 300 мм
  • Состоит из камер ICP-травления металлов, отдельных камер антикоррозионной обработки после процесса травления металлов, камеры охлаждения пластин, модулей транспортировки и загрузки пластин
  • Полностью автоматизированная система обработки и транспортировки пластин
  • Газовая конфигурация камер травления металлов: Cl2, BCl3, SF6, CHF3, CF4, O2, N2, Ar и другие газы в зависимости от запроса клиента
  • Подача водяного пара для камеры антикоррозийной обработки
  • Электростатический прижим пластин (ESC)
  • Модули контроля окончания процесса (EPD)
  • Системы откачки рабочих модулей на базе ТМН и сухих форвакуумных насосов


1Лист запросов
В лист запросов →
+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39
© 2020 ООО «Остек-ЭК»
?>
Сайт использует файлы cookie, обрабатываемые вашим браузером. Подробнее об этом вы можете узнать в Политике cookie.
ПринятьНастроитьОтклонить