DBH-SA — система для термомеханического дебондинга методом сдвига (slide-off) пластин диаметром Ø100/Ø150/Ø200 мм, обеспечивающая эффективный и надёжный процесс разделения пластин, для научно-исследовательских применений и мелкосерийных производств. Подходит для работы как со стеками пластин после обработки или временного бондинга, так и с утонёнными пластинами после обработки на носителе.
Особенности
Поддержка пластин размером Ø100/Ø150/Ø200 мм
Поддержка дебондинга ультратонких пластин, утонённых до 50 мкм
Температура нагрева пластин: до 350 °C
Система водяного охлаждения
Регулируемая скорость дебондинга и контроль усилия сдвига
Простое и удобное меню редактирования рецептов, удобное управление процессом
Параметр
Характеристики
Размер пластин
Ø100/Ø150/Ø200 мм
Толщина пластин
До 50 мкм
Максимальный нагрев
Макс. температура процесса: 350 ℃
Точность контроля температуры
±1 ℃
Верхний блок дебондинга
Скорость перемещения по оси Y: 10 мкм/с, регулируется
Нижний блок дебондинга
Скорость перемещения по оси Z: 10 мкм/с, регулируется