Полуавтоматическая система очистки пластин перед бондингом/после дебондинга BC-SA

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643

Полуавтоматическая система очистки пластин перед бондингом/после дебондинга BC-SA

Вакуумные держатели для стандартных и утонённых пластин

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

BC-SA — полуавтоматическая машина для отмывки пластин перед бондингом/после дебондинга. Оснащена набором жидких реагентов и парожидкостных смесей, центрирующим устройством и химическим шкафом.

Особенности

Поддержка пластин размером Ø100/150/200 мм
Поддержка отмывки утонённых пластин, толщина обрабатываемых пластин 50–2000 мкм
Точность центрирования <100мкм
Два жидкостных и один парожидкостный канал
Максимальная скорость вращения стола 5000 об/мин, ускорение 3000 об/(мин*с)
Отмывка обратной стороны (BSR)
Функция предотвращения обратного потока реагентов
Функция обратного всасывания жидкости для предотвращения капания
Автоматическое переключение резервуаров при низком уровне жидкости

Параметр	Характеристики
Размер пластин	Ø100/Ø150/Ø200 мм
Толщина пластин	50~2000 мкм
Максимальная скорость вращения подложкодержателя	5000 об/мин
Максимальное ускорение подложкодержателя	3000 об/(мин*с)
Линии жидких реагентов	х2
Парожидкостные линии	х1
Химические резервуары	30 л х4
Отмывка обратной стороны (BSR)	Поддержка
Защитный газ	Поддержка
Обратное всасывание жидкости	Поддержка
Дегазация линий (удаление пузырьков)	Поддержка
Насос для замены жидкостей	Поддержка
Переключение резервуаров при низком уровне жидкости	Автоматическое

Полуавтоматическая система очистки пластин перед бондингом/после дебондинга BC-SA

Особенности

Запросить в один клик

Заполните форму

Запрос оборудования на тестирование