BA-SA — полуавтоматическая система для оптического совмещения пластин размерами Ø100/Ø150/Ø200 мм перед бондингом. Оснащена системой компенсации клина и автоматизированной интегрированной ОС.
Особенности
Точность совмещения ≤0,5 мкм (одностороннее), ≤1 мкм (по обратной стороне)
Поддержка пластин диаметрами Ø100/Ø150/Ø200 мм
Различные типы совмещения при бондинге: совмещение в видимом спектре по обратной стороне (LED-источник позиционирующего света) или ИК-совмещение
Автоматический процесс совмещения
Размеры пластин: Ø100/Ø150/Ø200 мм
Типы совмещения: двухстороннее в видимом свете / ИК-совмещение
Спектры позиционирующего света: видимый / ИК
Режим совмещения: автоматический
Увеличение объектива системы совмещения: 5х
Точность компенсации клина: <10 мкм
Перемещение стола по осям X, Y: ±5 мм, минимальный шаг 0,05 мкм
Возможность отклонения стола от нормали: ±3°, минимальный шаг 0,05 мкм