CABL-9000C — электронно-лучевой литограф для производства DFB-лазерных диодов и устройств оптической связи. Обеспечивает высокое разрешение и высокую пропускную способность при 50 кВ. Применяется для научно-исследовательских целей.
Особенности
Локальная чистая зона
Встроенная система виброизоляции
Система экранировки магнитных и эзотерических помех