Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643
_1.png)
Печать/PDFUL-ClustMS — автоматическая система магнетронного распыления кластерного типа для серийного производства. Применяется для осаждения тонких плёнок различных материалов на пластины диаметром до 150 мм. Доступна установка до трех процессных модулей. Конфигурация рабочей камеры предполагает работу с одним магнетроном и одной пластиной в каждой камере за цикл.
Результаты технологических процессов. Осаждение в TSV-отверстия стека Ti (1500 Å) / Cu(6000 Å). Глубина 50 мкм, критические размеры 13, 30 и 50 мкм соответственно
|
Осаждение на сформированные структуры |
||||||
|
13 мкм CD |
30 мкм CD |
50 мкм CD |
||||
|
Верх структуры |
26,5 % |
180 нм |
26,1 % |
180 нм |
37,7 % |
260 нм |
|
Середина боковой стенки |
2,1 % |
14,1 нм |
9,5 % |
65,6 нм |
13,9 % |
95,6 нм |
|
Низ боковой стенки |
1,5 % |
10,3 нм |
3,0 % |
20,6 нм |
8,2 % |
56,3 нм |
|
Дно структуры |
2,2 % |
15,0 нм |
4,3 % |
30,0 нм |
10,6 % |
73,1 нм |
- Поддержка работы с пластинами Ø100 ÷ Ø150 мм
- Использование модуля загрузки-выгрузки для кассет, кассета на 10 пластин
- Транспортировочный модуль и вакуумный робот для автоматического переноса пластин из кассеты в рабочий модуль
- Количество рабочих модулей до 3 шт.
- Производительность рабочего модуля: 1 пластина/цикл
- Материалы для осаждения: Cr, Cu, Ni, Ta(N), Ti(N), Al, SiOx, SiNx и др.
- Возможность заполнения отверстий с аспектным отношением до 1:5
- Неравномерность осаждения плёнок: ≤ ± 5 %
- Магнетрон размером до 300 мм с вращающейся магнитной системой
- Установка различных типов магнетронов: ВЧ, постоянного тока и импульсного режима в зависимости от напыляемого материала, до 5 кВт, с настройкой мощности
- Возможность подачи смещения на подложкодержатель для заполнения отверстий с высоким аспектным соотношением: ВЧ-источник мощностью до 600 Вт
- Нагреватель подложек до 300 ℃
- Рабочие газы: Ar, O2, N2
- Система автоматического контроля давления (APC)
- Продувка и вентиляция камер
- Вакуумная система рабочего модуля — криогенный и безмасляный форвакуумный насосы. Возможность установки турбомолекулярного насоса
- Предельный вакуум в рабочем модуле: ≤ 5,0 × 10-7 Торр
- Сухой форвакуумный насос для кассетной станции и транспортного модуля. Возможность установки турбомолекулярного насоса
- Автоматизированное компьютерное управление процессом напыления с контролем параметров процесса