Система плазмохимического травления жёстких масок для пластин диаметром 300 мм

Система PE12-HM разработана специально для завершающего производственного цикла (BEOL) и проведения процессов плазмохимического травления жёстких TiN-масок. При BEOL-производстве операции травления жёстких масок повторяются несколько раз за цикл изготовления. Применение различных жестких масок и достигаемая высокая селективность процесса травления (< 3 %) позволяют уменьшать критические размеры структур. Система соответствует всем требованиям, устанавливаемым для травления жёстких масок при формировании различных технологических слоев и структур.

Особенности

• Подходит для крупносерийного производства
• Разработана для травления жёстких масок TiN и проведения процессов формирования самовыравнивающихся переходных отверстий (SADP), начиная с техпроцесса 55 нм
• Интеграция камеры травления жестких масок в кластерную систему дает возможность одновременной обработки функциональных слоёв и жёстких масок