Система проекционной литографии Canon FPA-6300ES6a

Canon FPA-6300ES6a — современный литографический сканер, использующий глубокий ультрафиолетовый (DUV) эксимерный лазер на фториде криптона (KrF) с длиной волны 248 нм. Оборудование предназначено для проецирования изображений на кремниевые пластины диаметром 200 мм и 300 мм с высокой точностью и скоростью. Сканер обеспечивает разрешение до 90 нм и выдающуюся точность совмещения (оверлей) вплоть до ≤5 нм при использовании опциональных улучшений. Благодаря усовершенствованной оптической системе с переменной числовой апертурой (NA) от 0,50 до 0,86 и высокой производительности (более 200 пластин в час для 300-мм пластин с опциями) FPA-6300ES6a является ключевым решением для массового производства современных полупроводниковых устройств.

Особенности

• Разрешение: 90 нм
• Точность наложения слоев: 5 нм
• Изменяемая апертура: 0,5 — 0,86
• Источник излучения: KrF 248 нм
• Производительность: >200 пл./час