Система проекционной литографии Nikon NSR-S220D

Nikon NSR-S220D — DUV-сканер, использующий KrF эксимерный лазер с длиной волны 248 нм. Установка проецирует изображение с фотошаблона на кремниевые пластины диаметром 300 мм, формируя структуры с разрешением до 110 нм. Оптимизирована для высокопроизводительного производства полупроводниковых приборов, где критически важны точность совмещения (оверлей) и стабильность процесса.

NSR-S220D предлагает стратегическое решение для критичных неммерсионных слоев. Опираясь на проверенную платформу Streamlign, сканер устанавливает новый отраслевой стандарт, обеспечивая точность совмещения до 2,5 нм и производительность до 250 пластин в час. Это позволяет производителям максимально задействовать более экономичную KrF-литографию, снижая зависимость от дорогостоящей мультипаттернинговой иммерсионной технологии.

Особенности

• Разрешение: 110 нм
• Точность наложения слоев до 2,5 нм
• Система составления карты поверхности для улучшения скорости и точности автофокусировки
• Источник излучения: KrF 248 нм
• Производительность: ~250 пл./час