Система проекционной литографии Nikon NSR-SF120

Nikon NSR-SF120 — это i-line (365 нм) степпер для проекционной фотолитографии на кремниевых пластинах диаметром до 300 мм. Работает по принципу «step-and-repeat»: последовательно экспонирует один и тот же фотошаблон на разные участки пластины, создавая на ней множество идентичных полупроводниковых структур.

В эпоху, когда стоимость владения становится критически важным фактором, Nikon NSR-SF120 предлагает проверенное решение для поддержания высокой производительности зрелых технологических узлов (0,35 мкм и выше). Его высокая пропускная способность — более 100 пластин в час для 300 мм и 120 для 200 мм — обеспечивает непрерывный поток производства, минимизируя простои. Благодаря большому размеру кадра экспонирования (25×33 мм) SF120 идеально интегрируется в существующие технологические цепочки, выполняя роль надежного и неприхотливого «рабочего».

Особенности

• Источник излучения: i-line (365 нм)
• Разрешение нового степпера: 280 нм
• Разрешение восстановленного степпера: 400 нм
• Точность совмещения 40 нм
• Производительность: 100 пластин/час (300 мм), 120 пластин/час (200 мм)
• Размер кадра экспонирования: 25×33 мм